Kevin Zhang sagte auf einer Konferenz in Amsterdam, dass es möglich sei, dass die A16-Anlagen des Unternehmens für die Technologie ausgelegt werden könnten, dies sei aber nicht sicher. TSMC ist der größte Nutzer der regulären EUV-Anlagen von ASML.
TSMC sagt, dass ASML High NA EUV-Maschine für A16-Knoten nicht notwendig ist
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