SK HYNIX INC. 
Laut imec ist es gelungen, mit dem neuen "High NA"-Tool von ASML in einem einzigen Durchgang Schaltkreise zu drucken, die so klein oder kleiner sind als die besten, die derzeit in der kommerziellen Produktion verwendet werden, sowohl für Logik- als auch für Speicherchips.
Die Entwicklung deutet darauf hin, dass führende Chiphersteller das Werkzeug wie geplant in den kommenden Jahren einsetzen können, um Generationen kleinerer, schnellerer Chips herzustellen.
High NA wird "sehr wichtig sein, um die Skalierung der Dimensionen von Logik- und Speichertechnologien fortzusetzen", sagte Luc Van den Hove, CEO von imec, in einer Erklärung.
imec wies darauf hin, dass viele andere Chemikalien und Werkzeuge, die für den Rest des Chipherstellungsprozesses benötigt werden, für die Tests verwendet wurden und für die kommerzielle Herstellung in Frage zu kommen scheinen.
ASML ist der größte Ausrüstungslieferant für Computerchip-Hersteller, dank seiner Dominanz bei Lithografiesystemen - riesige Maschinen, die Lichtstrahlen zur Herstellung von Schaltkreisen einsetzen.
Die Fähigkeit des High NA-Tools, kleinere Strukturen in weniger Schritten zu drucken, dürfte den Chip-Herstellern Geld sparen und dazu beitragen, den hohen Preis des Tools zu rechtfertigen.
Reuters berichtete am Montag, dass Intel die ersten beiden High NA-Tools kauft. Ein drittes wird voraussichtlich noch in diesem Jahr an TSMC gehen, das Chips für Nvidia und Apple herstellt.
Ein zweites Gerät wird für die Menge an Wafern und Experimenten benötigt, die zur Unterstützung einer Entwicklungslinie erforderlich sind", sagte Mark Philips, Direktor für Lithographie bei Intel, in einer E-Mail an Reuters.
Zu den anderen Chipherstellern, die eine High NA Anlage bestellt haben, gehören Samsung Electronics sowie die Speicherspezialisten SK Hynix und Micron.
($1 = 0,9163 Euro) (Bericht von Toby Sterling; Redaktion: David Holmes)
