Park Systems hat die Einführung der Produktlinie Park NANOstandardo bekannt gegeben. Diese neue Produktlinie bietet Kalibrierungsstandardproben für AFM- und SEM-Messungen, mit denen die Benutzer ihre Proben genau messen und analysieren können. Der Park NANOstandard entspricht NIST-rückführbaren Produkten für die Messung der kritischen Abmessungen (CD) von Halbleiterstrukturen.

Zu den Park NANOstandard Produkten gehören der AFM Tip Characterizer (AFMTC) und die High Magnification Calibration (HMC). Der AFMTC ist eine Kalibrierungsprobe, mit der der Radius und der Halbkegelwinkel einer Rasterkraftmikroskopspitze (AFM) bestimmt werden kann. Sie ist nano-gemustert mit Linienbreiten von 10 nm bis 50 nm.

Es ist rückverfolgbar auf das Korean Research Institute of Standards and Science (KRISS) für ISO 17034:2016 und ist rückverfolgbar über die Atomgitterkonstante im Siliziumsubstrat durch HR-TEM. Ein Softwareprogramm für die Kalibrierung und Unsicherheitsberechnung wird ebenfalls bereitgestellt. Die HMC-Standardprobe besteht aus polykristallinem Silizium und hat fünf zertifizierte Werte für Linienbreiten im Bereich von 20 nm bis 80 nm und fünf zertifizierte Werte für Pitch-Werte im Bereich von 100 nm bis 900 nm.

Die HMC-Standardprobe ist auf das KRISS für ISO 17034:2016 rückführbar. Sie ist auch über die atomare Gitterkonstante im Siliziumsubstrat mittels hochauflösender Transmissionselektronenmikroskopie (HR-TEM) rückverfolgbar. Die Park NANOstandard Produkte werden in Zusammenarbeit mit Park Systems von Kims Reference Corp. hergestellt.

Die Park NANOstandard-Produktlinie wurde entwickelt, um eine zuverlässige und genaue Kalibrierung von AFM- und SEM-Systemen zu ermöglichen, so dass die Benutzer ihre Proben genau messen und analysieren können.