• Neue Trockenläufer A4 Serie
• Neuer Trockenläufer A 200 L
• Neue magnetgelagerte Turbopumpen ATH-M Serie
Asslar, Februar 2014. Pfeiffer Vacuum, ein weltweit führender Anbieter von
Vakuumtechnologie, nimmt an der Messe Semicon Korea in Seoul vom 12. bis
14. Februar 2014 teil. Besucher des Stands können sich mit Experten von Pfeiffer Vacuum über innovative Vakuumlösungen austauschen. "Wir freuen uns, auf der Semicon Korea wichtige neue Vakuumlösungen vorzustellen. Mit diesen Produktentwicklungen setzen wir Maßstäbe in der gesamten Vakuumbranche", so Dr. Matthias Wiemer, Vorstandsmitglied der Pfeiffer Vacuum Technology AG. Pfeiffer Vacuum präsentiert auf dem Stand 5730 in Halle D die neuen Produkte:
Die ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen der A4 Serie bieten ein Saugvermögen von 100 bis 1.700 m3/h. Diese energieeffizienten und zuverlässigen Pumpen sind ideal für den Einsatz in anspruchsvollen Prozessen der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie. Dank korrosionsresistenter Materialien und eines hohen Gasdurchsatzes ist die Pumpenserie beispielsweise optimal für die Anwendung in CVD-Prozessen geeignet.
Neuer Trockenläufer A 200 LDie neue ölfreie mehrstufige Wälzkolbenpumpe A 200 L bietet trotz ihrer geringen Abmessungen ein hohes Saugvermögen und sehr kurze Abpumpzeiten. Dieser Trockenläufer ist für den Betrieb im Reinraum geeignet und ideal für saubere Anwendungen wie Schleusen- und Transferkammern
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sowie für alle anderen nicht korrosiven Anwendungen. Des Weiteren zeichnet sich die A 200 L durch einfache Integration in Halbleiterproduktionsanlagen und besonders energiesparendes Arbeiten aus.
Pfeiffer Vacuum stellt ebenfalls auf der Semicon China in Shanghai vom 18. bis
20. März 2014 aus.
Adresse der Messe Semicon Korea: Convention & Exhibition Center (COEX)
159 Samsung-dong, Gangnam-gu, Seoul 135731, Korea
Stand 5730 in Halle D
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Bildunterschrift: Neue Trockenläufer der A4 Serie von Pfeiffer Vacuum
Pressekontakt:
Public Relations
Sabine Neubrand-Trylat
T +49 6441 802 1223
F +49 6441 802 1500
Sabine.Neubrand@pfeiffer-vacuum.de www.pfeiffer-vacuum.de
Pfeiffer Vacuum (Börsenkürzel PFV, ISIN DE0006916604) ist ein weltweit führender Anbieter von Vakuumlösungen. Neben einem kompletten Programm an hybrid- und magnetgelagerten Turbopumpen umfasst das Produktportfolio Vorvakuumpumpen, Mess- und Analysegeräte, Bauteile sowie Vakuumkammern und -systeme. Seit Erfindung der Turbopumpe durch Pfeiffer Vacuum steht das Unternehmen für innovative Lösungen und Hightech-Produkte in den Märkten Analytik, Industrie, Forschung & Entwicklung, Beschichtung sowie Halbleiter. Gegründet 1890, ist Pfeiffer Vacuum heute weltweit aktiv. Das Unternehmen beschäftigt
etwa 2.200 Mitarbeiter und hat über 20 Tochtergesellschaften. Mehr Informationen unter www.pfeiffer-vacuum.de
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