Axcelis Technologies, Inc. gab die Auslieferung des Purion EXE SiC Power Series? 200mm Hochenergie-Implanter des Unternehmens an einen Hersteller von SiC-Leistungsbauelementen in Japan. Das System wird in der Großserienproduktion von SiC-Leistungsbauelementen für den Einsatz in Automobilanwendungen eingesetzt.