Axcelis Technologies, Inc. gab die Auslieferung des Purion EXE SiC Power Series? 200mm Hochenergie-Implanter des Unternehmens an einen Hersteller von SiC-Leistungsbauelementen in Japan. Das System wird in der Großserienproduktion von SiC-Leistungsbauelementen für den Einsatz in Automobilanwendungen eingesetzt.
Axcelis Technologies, Inc. gibt die Auslieferung des Purion EXE Power Series Implanters an einen japanischen Hersteller von SiC-Leistungsbauelementen bekannt
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