Axcelis Technologies, Inc. gab die Lieferung der Hochenergie-Implanter Purion XE und der Hochstrom-Implanter Purion H an mehrere Produktionsstätten in Korea und China zur Herstellung von DRAM-Speicherbausteinen bekannt. Die Systeme umfassen eine Folgelieferung an einen bestehenden Kunden in Korea und den Eintritt eines neuen Kunden in China. Die Systeme werden im vierten Quartal 2023 ausgeliefert.
Axcelis gibt die Lieferung von Purion XE Hochenergie- und Purion H Hochstrom-Implantern an Hersteller von DRAM-Speicherchips bekannt
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