Die Azbil Corporation gab bekannt, dass ab dem 25. Januar die Kapazitätsmessgeräte des Modells V8 aus Saphir verfügbar sind, die eine MEMS-Verarbeitungstechnologie einsetzen, um den Widerstand gegen Ablagerungen auf dem Sensor zu erhöhen. Im Zuge der fortschreitenden Entwicklung der Halbleiterherstellung wird bei den Front-End-Schichtabscheidungs- und Ätzprozessen nun eine größere Vielfalt an Gasen verwendet. Je nach verwendetem Prozessgas können sich Ablagerungen auf der Sensormembran des bei diesen Prozessen verwendeten Vakuummessgeräts bilden, was zu einer Verschiebung des Nullpunkts führt.

Eine solche Verschiebung führt dazu, dass die Bediener von Anlagen zur Filmabscheidung und zum Ätzen das Vakuummeter häufiger justieren müssen, was die Produktionspläne beeinträchtigt. Azbil hat in der Vergangenheit Produkte entwickelt, um dieses Problem zu lösen, das bei der Verwendung neuer Gase weiterhin auftritt. Auf der Suche nach einer besseren Lösung hat Azbil sein aktuelles Saphir-Kapazitätsmembran-Messgerät gründlich überarbeitet und das Modell V8 auf den Markt gebracht, das über einen Sensor mit einer neuen Struktur, einem neuen Strömungsweg usw. verfügt.

Die MEMS-Technologie sorgt dafür, dass die Oberfläche des Sensorchips uneben ist, was dazu beiträgt, den auf der Sensormembran abgelagerten Film aufzubrechen. Die Spannungen werden nun besser ausgeglichen (auch bei Modellen mit einer verbesserten Version des Flachsensors, der in bestehenden Messgeräten verwendet wird), so dass sich die Oberfläche der Membran weniger stark biegt. Infolgedessen wurde die Nullpunktverschiebung beim Modell V8 aufgrund von Filmablagerungen drastisch auf ein Zehntel derjenigen des bestehenden Modells SPG reduziert.

Das Modell V8S verfügt über eine vom Messkopf getrennte Steuereinheit, die den Einsatz bei Temperaturen von bis zu 250 °C ermöglicht. Derartige Hochtemperaturumgebungen sind aufgrund von Änderungen im Prozessgas häufig bei Geräten für die Atomlagenabscheidung (ALD) anzutreffen. Merkmale: Höhere Widerstandsfähigkeit gegen Ablagerungen auf dem Sensor. Dank der MEMS-Technologie wurde die Nullpunktverschiebung aufgrund von Filmablagerungen auf dem Sensor auf ein Zehntel des Wertes des Modells SPG reduziert. Beständigkeit gegen Temperaturen von bis zu 250 °C. Das Modell V8S (separates Modell) für hohe Temperaturen wurde als Reaktion auf Veränderungen bei den Prozessgasen in die Produktpalette aufgenommen.

Kompakte Größe mit geringerer Stellfläche. Durch eine effizientere Anordnung der Komponenten im Inneren des Geräts konnte sein Volumen im Vergleich zum Modell SPG um 40% reduziert werden.