JEOL Ltd. kündigte die Einführung des FIB-SEM-Systems oJIB-PS500io für den 1. Februar 2023 an. Mit der feineren Struktur fortschrittlicher Materialien und der zunehmenden Komplexität von Prozessen erfordern Bewertungstechniken wie morphologische Beobachtung und Elementaranalyse eine höhere Auflösung und Präzision. Bei der Vorbereitung von Proben für Transmissionselektronenmikroskope (TEM) in der Halbleiterindustrie sowie in den Bereichen Batterien und Materialien sind "höhere Präzision" und "dünnere Proben" erforderlich.

Dieses Produkt ist ein kombiniertes System aus dem FIB-System (Focused Ion Beam), das mit hoher Genauigkeit arbeiten kann, und dem SEM (Rasterelektronenmikroskop) mit hoher Auflösung, um diese Anforderungen zu erfüllen. Hauptmerkmale: Die FIB-Säule ermöglicht die Bearbeitung mit einem Hochstrom-Ga-Ionenstrahl von bis zu 100nA. Die Hochstrombearbeitung ist besonders effektiv bei der Vorbereitung von Querschnittsproben für die großflächige Bildgebung und Analyse.

Darüber hinaus ist die FIB-Säule auf einen kürzeren Arbeitsabstand eingestellt. Zusammen mit einer neu entwickelten Stromversorgung hat dies zu einer stark verbesserten Bearbeitungsleistung bei einer niedrigen Beschleunigungsspannung geführt. In die REM-Säule ist ein neu entwickeltes superkonisches Linsensystem eingebaut, das die Bildauflösung bei einer niedrigen Beschleunigungsspannung erheblich verbessert.

Diese hervorragende Bildgebung ist sehr nützlich, um den Endpunkt-Frässtatus von Lamellenproben mit dem SEM zu überprüfen. Das JIB-PS500i verfügt über eine große Probenkammer und einen neu entwickelten Probentisch, der den Bewegungsbereich des Tisches vergrößert und somit eine große Probe aufnehmen kann. Darüber hinaus ermöglicht ein neu entwickelter STEM-Detektor, der bei einer Neigung des Tisches von 90 Grad verwendet werden kann, einen nahtlosen Übergang von der TEM-Probenpräparation zur STEM-Beobachtung.

Für die Bedienoberfläche wird das oSEM centero verwendet, das sich in der JSM-IT800-Serie hochauflösender Rasterelektronenmikroskope bewährt hat und die vollständige Integration der EDS-Analyse ermöglicht. Eine Doppelkippkassette und ein spezieller TEM-Halter ermöglichen eine präzisere Ausrichtung und erleichtern den Probentransfer zwischen TEM und FIB.