Der Nettogewinn für das vierte Quartal betrug 1,4 Milliarden Euro (1,70 Milliarden Dollar) bei einem Umsatz von 4,3 Milliarden Euro, verglichen mit 1,13 Milliarden Euro und 4,04 Milliarden Euro im gleichen Zeitraum des Vorjahres.

Die von Refinitiv befragten Analysten hatten für das vierte Quartal einen Gewinn von 1,03 Milliarden Euro bei einem Umsatz von 3,73 Milliarden Euro erwartet.

CEO Peter Wennink sagte, dass der Gewinn durch zusätzliche Auslieferungen von "Deep Ultraviolet"-Lithographiesystemen der mittleren Leistungsklasse und Upgrades bestehender Systeme erzielt wurde, da die Auslastung der bestehenden Chipfabriken hohe Werte erreichte.

ASML stellt Lithographie-Maschinen her, die bis zu 200 Millionen Euro pro Stück kosten können, und verwendet fokussierte Lichtstrahlen, um die Schaltkreise von Computerchips großer Kunden wie Taiwan Semiconductor, Samsung und Intel abzubilden.

ASML prognostizierte für das erste Quartal 2021 einen Umsatz von 4 Milliarden Euro bei einem starken Auftragseingang von 4,2 Milliarden Euro.

Die ASML-Aktie ist in den letzten Wochen auf ein Allzeithoch gestiegen und schloss bei 439,9 Euro, da es in einigen Sektoren zu Engpässen bei Chips gekommen ist und wichtige Kunden im Jahr 2021 umfangreiche Investitionen in neue Fabriken planen, die neue ASML-Anlagen erfordern.

Das Unternehmen sagte im November, dass es für 2021 ein "niedriges zweistelliges" Umsatzwachstum erwartet.

In einem Kommentar zu den Ergebnissen am Mittwoch sagte CFO Dassen jedoch, dass dies zu niedrig sein könnte. Das Unternehmen rechnet mit einem Wachstum von 10 % bei Maschinen für Hersteller von Logikchips, 20 % bei Maschinen für Hersteller von Speicherchips und 30 % bei den Serviceeinnahmen, sagte er.

Aber diese Zahlen könnten nach oben korrigiert werden, sagte er, "unter der Annahme, dass wir nicht mit mehr Einschränkungen an der geopolitischen Front und ... Exportkontrollen konfrontiert werden, als wir heute sehen", sagte er.

ASML wurde die Lieferung seiner neuesten und teuersten Werkzeuge an chinesische Halbleiterhersteller untersagt, nachdem die US-Regierung unter Präsident Donald Trump, dessen Amtszeit heute endet, Druck ausgeübt hatte, die Lieferung von Ausrüstung aus Gründen der nationalen Sicherheit zu untersagen.

Die niederländische Regierung hat ASML bisher keine Exportlizenzen für die Lieferung seiner modernsten Anlagen an Kunden auf dem chinesischen Festland erteilt.

(1 Dollar = 0,8235 Euro)