Advanced Energy Industries, Inc. hat das NavX Impedanzanpassungsnetzwerk mit Algorithmen und direkter Generatorkommunikation vorgestellt, das ein überragendes Maß an präziser und wiederholbarer Plasmakontrolle ermöglicht, was bei der Herstellung von "Angstrom-Era" entscheidend ist. Halbleiter-Ätzprozesse der nächsten Generation erfordern ein noch nie dagewesenes Maß an Plasmakontrolle bei schnellem Pulsieren, häufigen Übergängen und längeren Rezepturen, die für die Herstellung kleinerer, schnellerer und effizienterer Chips mit komplexeren 3D-Strukturen erforderlich sind. Das NavX-Anpassungsnetzwerk von Advanced Energy wurde speziell für die direkte Kommunikation zwischen Anpassungsgenerator und ultraschneller Abstimmung unter Verwendung von AE-Hardware und proprietären Algorithmen entwickelt. Dies ermöglicht eine RF-synchronisierte Impedanzanpassung während Multilevel-Pulszuständen für eine präzise Kontrolle der Plasmaeigenschaften.

NavX synchronisiert sich direkt mit dem eVerest RF-Generator und verfügt über proprietäre Algorithmen für Advanced Selectable Tuning und Velocity Tuning, die die Reaktionsgeschwindigkeit für Pulssequenzen optimieren. Die Frequenzspanne des Systems von +/- 10% ermöglicht eine schnellere Abstimmung und den Zugriff auf einen größeren Impedanzbereich. Die Immunität gegen Intermodulationsverzerrungen (IMD) gewährleistet die Abstimmungsgenauigkeit bei Multifrequenzanwendungen, und skalierbare Impulszustände bieten einen Weg zu neuen Energieregimen.

Das NavX Anpassungsnetzwerk ist vollständig kompatibel mit der PowerInsight by Advanced Energy® IoT-Plattform, die einen schnellen Zugriff auf hochauflösende, umsetzbare Daten zur Prozessoptimierung ermöglicht.