Nova Ltd. gab bekannt, dass das Unternehmen mehrere Aufträge von führenden Kunden für Prozesskontrolllösungen für die Herstellung von Gate-All-Around (GAA) Geräten erhalten hat. Bei den Aufträgen handelt es sich um Lösungen für die Dimensions-, Material- und chemische Metrologie. Das Unternehmen rechnet damit, diese in den nächsten 12 Monaten auszuliefern, wobei weitere Aufträge folgen werden, sobald die GAA-Produktion in die Großserienfertigung übergeht.

Novas umfangreiches Portfolio ermöglicht es den Kunden, tiefere Einblicke in komplexe Halbleiterstrukturen zu erhalten, indem es eine breitere Perspektive auf geometrische Abmessungen, Materialeigenschaften und chemische Analysen bietet. Das Unternehmen arbeitet mit führenden Herstellern zusammen, die auf GAA umsteigen, oder hat Aufträge von ihnen erhalten, was den einzigartigen Wert des Portfolios bestätigt. Mit dem Übergang der Halbleiterindustrie zu den lang erwarteten fortschrittlichen Technologieknoten entstehen neue Prozessherausforderungen.

Die Zeit bis zur Ausbeute wird kritisch und gerät in Konflikt mit einer zunehmenden Anzahl von Prozessschritten, einer höheren Abtastung und einer geringeren Fehlertoleranz. Dieser Konflikt wird durch die Notwendigkeit, On-Device- und In-Die-Messungen durchzuführen, noch verkompliziert, da die Teststrukturen nicht mehr repräsentativ für den tatsächlichen Prozess sind. Darüber hinaus erfordert die Fülle an neuen Materialien, die in den Prozess eingeführt werden, eine Inline-Kontrolle der Parameter.

Prozesskontrolllösungen müssen komplexe 3D-Strukturen, neue Materialien, mehr Schichten und mehr physikalische und chemische Inline-Parameter berücksichtigen, um diesen Anforderungen gerecht zu werden.